双线法测电阻与四线法测电阻

半导体生产工艺中有很多重要的参数都和电阻有关，所以就对阻值的测量要求非常精密。本文就对两线法测电阻和四线法测电阻做一个简单介绍。
电阻测试的通常原理是恒流测压，测量仪器产生恒定数值的测量电流I，通过两根测量引线分别接触待测量的电阻R_t的两端电极。当电流I流过待测电阻R_t时，测得R_t上产生电压U_t。测量仪器测得电压进而计算出电阻阻值R_t=U_t/I。但这之中产生了另外一个问题，就是引线也是有电阻的。在测量阻值微小电阻的时候，引线上的电阻不能忽略不计，会对最后的测量结果产生影响。测试结果就变为R_t=(U_t+2U_r)/I。如图1。
 

   
图1

而采用四线测量时，由于四条引线分别形成电流回路和电压测试回路，电压测量回路的阻抗高，流过的电流可以忽略不计，电压测试回路的引线几乎没有电流，所以最终测得的电压即是待测电阻上的电压R=U/I。如图2。

  
图2